Книга Базовые технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие, автор Воротынцев Владимир Михайлович, Скупов Владимир Дмитриевич

Учебное пособие разработано в соответствии с государственным образовательным стандартом высшего профессионального образования по направлению подготовки дипломированных специалистов 11.04.04`Электроника и наноэлектроника`. Впервые технологии микро- и наноэлектроники рассмотрены неразрывно с технологиями высокочистых веществ и материалов в основополагающем ключе`высокая чистота материала - высокое качество продукции`. Рассмотрены основные процессы получения высокочистых веществ и материалов на их основе, процессы и технологии получения эпитаксиальных структур кремния, арсенида галлия и др., технологии их обработки при переходе к компонентам электронной техники. Пособие может быть использовано студентами всех форм обучения, в том числе и по смежным специальностям, как для самостоятельной работы, так и выполнения курсовых проектов, а также в качестве конспекта лекций по курсу`Технология материалов электронной техники`. Содержит перечень контрольных вопросов для оценки усвоения студентами материала.